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平整度测量机
平整度测量机是一款高精度的非接触式平整度测量设备。采用共焦位移测量技术结合高精度运动机台，可以实现高速、高精度的平整度检测要求。
设置简单，操作方便。±1um的测量精度，±0.5μm的重复精度。
| 型号 | SP-1100 |
| 测量速度 | ≤12mm/s |
| 测量点间距 | 0.2-72μm自由设置 |
| 测量精度 | ±1μm |
| 平台大小 | 200×200mm |
| X和Y方向行程 | 100×100mm |
| 分辨率 | 0.5μm |
| 重复精度 | ＜1.4μm |
| 最大允许负重 | 10Kg |
| 量程(Z方向) | 400μm/1400μm/4000μm |
| 精度（Z） | ±0.1μm/0.5μm/1μm |
| 采样频率 | 100Hz-10kHz |
| 适配器额定输入 | 100-240VAC 0.8A 50-60Hz |
| 控制器额定输入 | 24VDC 1A 1.5A（max） |
| 传感器输入 | 24V DC 3A |
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