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三维轮廓测量仪
        三维轮廓测量仪采用国际领先的白光共焦技术，非接触式测量，精度高抗干扰能力强。可以对产品的外观，三维形貌进行全方位的扫描，然后再使用分析软件在扫描的三维形貌上面提取所需要的数据。专业的测量算法可以帮您获取到几乎全部的样品参数，三维轮廓、平整度、粗糙度、高差、缝宽等。高精度、高分辨率、高稳定性等优秀的性能使其成功的应用于高校、研究机构及企业的研发与生产中。

      其扫描速度可达到12mm/s，0.1μm超高的测量精度可满足大多数测量要求，适应各种不同的工业生产环境，广泛应用于手机制造、航空航天等领域的微器件高精度检测。100μm~12000μm的不同量程可供您选择。200×200mm的测量范围可以测量到大多数器件的外观全貌。
 

型号	SM-1000
测量速度	≤12mm/s
测量点间距	0.2-72μm 自由设置
测量精度	0.1μm
平台大小	200×200mm
X和Y方向行程	100×100mm
分辨率	0.5μm
重复精度	<1.4μm
最大允许负重	10Kg
量程(Z方向)	360μm/1000μm/3100μm
精度（Z）	±0.1μm/0.5μm/1μm
采样频率	200Hz-4.5kHz
适配器额定输入	100-240V AC 0.8A 50-60Hz
控制器额定输入	24V DC 1A 1.5A(max）
传感器输入	24V DC 3A

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